2.4 Feldberechnungsmethoden



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2.4 Feldberechnungsmethoden

 

  
Abbildung 2.2: Problemstellung

Die Abbildung 2.2 zeigt einen Querschnitt durch eine dreidimensionale Verdrahtungsstruktur, um nochmals zu verdeutlichen, welche Aufgabenstellung von einer analytischen oder numerischen Feldberechnungsmethode zu lösen ist.

Die schraffierten Bereiche stellen Leiter dar, die in insgesamt drei verschiedenen Dielektrika () eingebettet sind. Außerdem soll auch die tiefste horizontale Linie leitfähig sein. Da die Leiter in Isolatoren eingebettet und keine Raumladungen vorhanden sind, ist die Laplace-Gleichung im Isolatorgebiet zu lösen. Die Leiter selbst werden nicht in die Berechnung miteinbezogen, sie repräsentieren Dirichletsche Randbedingungen. Wie schon im Abschnitt 1.2 gezeigt, sind die Leiterbahnen (moderne Mikroprozessoren verfügen von bis zu vier Verdrahtungsebenen) in mehreren Lagen geschichtet, wobei verschiedene Dielektrika zum Einsatz kommen (z.B.: ). Es sind daher oft Grenzflächenbedingungen

 

zu berücksichtigen.





Martin Stiftinger
Fri Nov 25 16:50:24 MET 1994