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Experimentelle Ergebnisse

 

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Abbildung 5.4: Die kritische Amorphisierungsenergiedichte tex2html_wrap_inline13207 als Funktion des Ortes tex2html_wrap_inline12889 bei verschiedenen Substrattemperaturen T. Das Aufwärtsbiegen der Kurven ist ein Indiz dafür, daß der Kollaps der Kollisionskaskade an verschiedenen Stellen im ,,Wafer`` unterschiedlich stark abläuft.

Implantierte Ionen geben einen Teil ihrer Energie in Form von nuklearen Stößen mit den Siliziumatomen ab. Dieser Vorgang dauert typischerweise eine Pikosekunde. Während der nächsten 1000ps kommt es allerdings zu thermisch aktivierten Vorgängen, die auf Grund einer Analyse der Abbildung 5.4 in drei Temperaturbereiche einzuteilen sind:

Das Amorphisierungsmodell soll also die verbleibenden stabilen Gitterschäden als Funktion von T liefern.


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