Lage der Zwischengitteratome

In der Literatur findet man zwei Ansätze, die Lage der Zwischengitteratome im Gitterverband betreffend:

• In [Kle90, Kle91, Kle92] läßt man die Zwischengitteratome im tetraedrischen Zwischenraum des Siliziumatoms (siehe Abbildung 1.2 und 2.4) zur Ruhe kommen. Man spricht von tetraedrischen Zwischengitteratomen.
• In [Hob95c, Hob95d, Sim95a] werden hingegen die weggeschlagenen Gitteratome an beliebigen Stellen innerhalb eines Kreises mit Radius in einer Ebene senkrecht zur Bewegungsrichtung des Ions angenommen. Man spricht von Random interstitials.

Vergleiche mit SIMS Messungen zeigen [Sim95b], daß das Random-Modell bessere Simulationsergebnisse liefert.