4.4 CP-Effekt am Backinterface



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4.4 CP-Effekt am Backinterface

 

Einblick in den Mechanismus der Potentialkopplung zwischen Front- und Backinterface wird durch ein CP-Experiment mit variabler Backgate-Spannung gewonnen. Das CP-Experiment wird in gewohnter Weise durch Pulsung der Frontgate-Spannung durchgeführt, wobei die Backgate-Spannung als Parameter einen um Null Volt symmetrischen Spannungsbereich durchläuft. Dieser Bereich reicht aus, um an beiden Enden (=) das Backinterface stark zu akkumulieren bzw. zu invertieren. Durch die elektrostatische Abschirmung wird die Potentialkopplung so stark abgeschwächt, daß kein CP-Effekt am Backinterface auftritt. Das CP-Signal setzt sich nur mehr aus dem Grenzflächen-Ladungspumpstrom des Frontinterface zusammen. Im dazwischenliegenden Spannungsbereich befindet sich das Backinterface in schwacher Akkumulation bzw. Inversion und in Depletion. In diesen Bereichen existiert eine Potentialkopplung zwischen beiden Grenzflächen. Das bedeutet, daß jede Änderung des Grenzflächen-Potentials auf dem Frontinterface eine abgeschwächte Änderung am Backinterface verursacht.





Martin Stiftinger
Fri Oct 14 21:33:54 MET 1994