Zur Verbesserung der Isolationseigenschaften des Grabens ist eine Dotierung des Grabenbodens
mittels Bor notwendig. Die Einbringung des Dotierstoffes erfolgt durch Ionenimplantation. Die
dabei entstehende Bor-Verteilung wird mithilfe des Programms mcimpl3d [Boh95b],
welches die Monte-Carlo-Methode verwendet, berechnet. Dieses Programm ist Teil der
VISTA-Umgebung [Hal95]. Die implantierte Dosis beläuft sich auf 
cm-2
bei einer Implantationsenergie von 30keV.
Das Substrat mit einer Kristallorientierung in {100}-Richtung wurde dabei senkrecht zur Einfallsrichtung eingespannt um Schattierungseffekte am Grabenboden zu verringern. Das Programm zur Ionenimplantation stellt die berechnete Dotierstoffverteilung auf einem dreidimensionalen Rechtecksgitter zur Verfügung, welche mithilfe von Interpolation auf das Tetraedergitter übertragen werden muß. Zur Verringerung der Diskretisierungs- und Interpolationsfehler mußte das Tetraedergitter (siehe Abb. 8.3) bereits entsprechend adaptiert werden. Das an die Anfangslösung angepaßte Gitter ist in Abb. 8.4 dargestellt. Dabei wurde ein Dosisfehler von 1% zugelassen. Das solcherart adaptierte Gitter besteht aus 11555 Knoten und 41062 Elementen.