2.4.1 Grenzflächenreaktionen

Unter diese Kategorie fällt die Rekombination von Interstitials und Vacancies an der Silizium-Siliziumdioxyd Grenze. Im Falle inerter Prozeßbedingungen erzwingt die Grenzfläche die Gleichgewichtskonzentrationen für Interstitials und Vacancies, welche sich durch die Teilchenströme gemäß

$$\vec{J}_X^{\mathrm {int}}=k_{\mathrm sX}(C_X^{\mathrm {int}}-C_{\mathrm X{eq}})\cdot\vec{n}$$ (2.19)

einstellen, wobei X jeweils für I und V steht [Hu74]. Der Teilchenfluß $\vec{J}_{X}^{\mathrm {int}}$ am Rand wird durch die Reaktionsgeschwindigkeiten $k_{\mathrm sX}$sowie durch die Gleichwichtskonzentrationen $C_{\mathrm X{eq}}$ am Rand für Vacancies und Interstitials bestimmt. Die Reaktionsgeschwindigkeiten können entsprechend

$$k_{\mathrm sX}=\frac{D_{X}}{r_{\mathrm sX}}$$ (2.20)

aus den Diffusionskoeffizienten D_X und den Wirkungsradien $r_{\mathrm sX}$ ermittelt werden. Es entspricht dies der Annahme einer diffusionslimitierten Grenzflächenreaktion [Aga93].