6.3.1 Variation der Spacer-Länge



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6.3.1 Variation der Spacer-Länge

  
Abbildung: Variation der Spacer-Länge: Maximaler Substratstrom bei über der Spacer-Länge .

  
Abbildung: Variation der Spacer-Länge: Maximaler Drainstrom bei über der Spacer-Länge .

Die Variation der Spacer-Länge zwischen und in Abb. 6.2 (semilogarithmische Darstellung) zeigt eine starke Abnahme der Substratstroms mit größerer Spacer-Länge. Der maximale Drainstrom sinkt aufgrund des steigenden Serienwiderstandes der niedrig dotierten Drain-Zone mit größerer Spacer-Länge ebenfalls (vgl. Abb. 6.3), aber nur sublinear. Die notwendige Genauigkeit und Reproduzierbarkeit in der Fertigung des Spacers begrenzt die maximale Spacer-Länge in diesem Prozeß mit etwa [Bau93b]. Aus diesen Überlegungen wird als nominale Spacer-Länge gewählt.


Martin Stiftinger
Mon Oct 17 21:16:53 MET 1994