6.3.2 Variation der LDD-Implantationsenergie



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6.3.2 Variation der LDD-Implantationsenergie

  
Abbildung: Variation der LDD-Implantationsenergie: Maximaler Substratstrom bei über der LDD-Implantationsenergie.

Die Variation der LDD-Implantationsenergie zwischen und in Abb. 6.4 bewirkt eine monotone Abnahme des Substratstroms. In vergleichbaren Prozessen wird die LDD-Implantation mit etwa bis durchgeführt. Daher ist es bemerkenswert, daß, wie die Simulation zeigt, bei einer Implantationsenergie von der Substratstrom auf ein Drittel absinkt. Die Drainstrom-Treiberfähigkeit wird von der Variation der LDD-Implantationsenergie nur geringfügig beeinflußt (vgl. Abb. 6.5). Das in der Serienfertigung zur Verfügung stehende Ionenimplantationsgerät des industriellen Partners weist eine Obergrenze der Ionenbeschleunigungsspannung von auf. Demgemäß wird die LDD-Implantationsenergie mit festgelegt.

  
Abbildung: Variation der LDD-Implantationsenergie: Maximaler Drainstrom bei über der LDD-Implantationsenergie.



Martin Stiftinger
Mon Oct 17 21:16:53 MET 1994