6.7 Elektrische Kenngrößen der <IMG ALIGN=BOTTOM SRC="_13764_tex2html_wrap6590.gif"> und <IMG ALIGN=BOTTOM SRC="_13764_tex2html_wrap6586.gif">-Prozesse im Vergleich



next up previous contents
Next: 7 Ausblick Up: 6 Unterdrückung heißer Ladungsträger Previous: 6.6 Lebensdauermessungen

6.7 Elektrische Kenngrößen der und -Prozesse im Vergleich

Zur Dokumentation der mit der Optimierung der LDD-Struktur für den -Prozeß erzielten Verbesserung gegenüber dem -Ausgangsprozeß mit DDD-Struktur sind in Tab. 6.1 die wichtigsten gemessenen Kenngrößen beider Prozesse gegenübergestellt.

  
Tabelle 6.1: Vergleich der elektrischen Kenngrößen der und -Prozesse.

Bei gleicher Beanspruchung mit konnte der Substratstrom um einen Faktor reduziert werden, wohingegen die Abnahme der Stromtreiberfähigkeit weniger als ausmacht. Die Snapback-Spannung (Minimum der Drain-Source-Haltespannung bei Variation der Gate-Source-Spannung ) und die Drain-Source-Durchbruchspannung (Drain-Source-Spannung für , bei der der Drainstrom erreicht) sind hinreichend größer als die Betriebsspannung von zuzüglich Toleranz. Da zudem erreicht wurde, daß die typischen elektrischen Parameter des -Prozesses meist innerhalb des Toleranzbereichs des älteren -Prozesses liegen, konnten nahezu alle Standardzellbibliotheken (Katalog der Grundschaltungen für ASICs - ,,Application Specific Integrated Circuits``) übernommen werden [Bau93a].



Martin Stiftinger
Mon Oct 17 21:16:53 MET 1994