In diesem Kapitel wurden einige Anwendungen dreidimensionaler Simulationen der Ionen-Implantation gezeigt. Es wurde ein Modul vorgeführt, mit dem nicht nur - wie sonst alle anderen Programme zur Simulation der Ionen-Implantation - Strukturen behandelt werden können, die von ebenen Flächen begrenzt werden, sondern auch solche mit gekrümmten Grenzen.
In Abschnitt 6.5 wurde ein Vergleich von zwei- mit dreidimensionalen Simulationen gezeigt. Aus diesem Beispiel kann man ersehen, daß echte dreidimensionale Simulationen oft unumgänglich sind, um das Implantationsprofil korrekt vorhersagen zu können. In gleichmäßigen Strukturen, die keine Ecken oder abrupten Übergänge haben, reichen zweidimensionale Simulationen aus, für realistische Geometrien ist die dreidimensionale Modellierung unerläßlich.