6 Applikationen



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6 Applikationen

 

IN diesem Kapitel werden einige Anwendungen für dreidimensionale Simulationen gezeigt. Zuerst wird ein Programm für die Modellierung spezieller dreidimensionaler Grabenstrukturen (Trench) vorgestellt, mit dem nicht nur Geometrien, die von planaren Flächen begrenzt werden, behandelt werden können, sondern auch solche mit gekrümmten Begrenzungsflächen (Abschnitt 6.2). Danach wird in Abschnitt 6.3 ein Siliziumblock, der mit einer Oxyd-Maske bedeckt ist, mit einem Simulator für generelle Strukturen (siehe Kapitel 5) gerechnet. Diese beiden Programme - aus Abschnitt 6.2 und Abschnitt 6.3 - werden in Abschnitt 6.4 miteinander verglichen. Ein Vergleich zwischen zwei- und dreidimensionalen Strukturen und die Grenzen von zweidimensionalen Simulationen werden in Abschnitt 6.5 gezeigt. In Abschnitt 6.6 wird noch ein Beispiel einer realistischen dreidimensionalen Struktur behandelt, die aus vorhergehenden Simulationen von Ätz- und Depositionsschritten stammt. Schließlich werden in Abschnitt 6.7 Resultate aus Simulationen kristalliner Targets präsentiert.





Martin Stiftinger
Sat Oct 15 14:00:19 MET 1994