Es werden die Beweglichkeitsreduktion durch ein vertikales, die
Ladungsträger gegen das Oxid drückendes elektrisches Feld (Parameter
) und die Driftgeschwindigkeitssättigung (Parameter 
und
) berücksichtigt. 
ist die Nullfeldbeweglichkeit
(Beweglichkeit bei niedrigen Feldern), 
die Oberflächenbeweglichkeit:
