Da die chemische Bindung von Silizium und Sauerstoff einen starken ionischen Charakter aufweist, ist eine Wechselwirkung der Elektronen mit der oszillierenden elektrischen Dipolverteilung der Gitterionen in Siliziumdioxid derjenige Mechanismus, der bei niedrigen Feldstärken für den hohen Energieverlust der Elektronen verantwortlich ist.
Die Wechselwirkung hat aufgrund des ionischen Charakters von Silizium und Sauerstoffbindungen ein coulombartiges Potential. Die Streuwahrscheinlichkeit [44][90] kann als
für Absorption (+) und Emission (
) geschrieben werden. Die Besetzungszahl
für polar longitudinale optische (LO) Phononen ist gleich
Dabei ist 
die Kreisfrequenz der Phononen und 
und 
repräsentieren die statische und die optische
Dielektrizitätskonstante. Integration über alle erlaubten Zustände 
ergibt die totale Streurate für ein nichtparabolisches Band
Dabei stellt 
die energieabhängige Bandformfunktion dar und die
Energiebilanz ist durch
gegeben. Die Dispersionsrelation für longitudinale Phononen wird als konstant angenommen.
Dieser Mechanismus bevorzugt kleine Streuwinkel, und der polare
Ablenkungswinkel kann numerisch mit der statistischen Verteilungsfunktion des
Streuwinkels 
ermittelt werden,
Der azimutale Winkel ist isotrop verteilt. Aufgrund von Symmetrieüberlegungen sind transversale Moden sehr viel schwächer als die longitudinalen [110].