3.2.2 Streuprozesse in Siliziumdioxid



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3.2.2 Streuprozesse in Siliziumdioxid

Für die Evaluierung der makroskopischen Größen werden nur Wechselwirkungen mit dem Gitter betrachtet. Materialverunreinigungen, welche zweifellos bei der Degradation wichtig sind, werden aufgrund nicht bekannter örtlicher Verteilungen oder aber wegen der mangelnden Kenntnis der zugrunde liegenden physikalischen Prozesse vernachlässigt. Deren Einfluß auf die mittlere Teilchenenergie und Driftgeschwindigkeit wird jedoch als sehr gering angenommen [110].

Zu diesen Streuprozessen zählen Elektroneneinfang und -freisetzung, Verunreinigung durch Wasserstoff und anderer Metalle der ersten Hauptgruppe sowie ungesättigte Bindungen aufgrund von Gitterdeformationen. Für diese Wechselwirkungen, wie oben erwähnt, ist zumindest eine genauere Kenntnis des mikroskopischen Vorgangs erforderlich. Ebenso wird das Auftreten von Stoßionisation bei Elektronenenergien ab ungefähr nicht berücksichtigt [109][110][126].





Martin Stiftinger
Mon Aug 7 18:44:55 MET DST 1995