Im verwendeten MOSFET-Modell sind alle errechneten Größen weitenbezogen. Damit ist die Kanalweite der einzige Parameter, der skaliert werden muß. Die Bestimmung der Weite ist allerdings nicht völlig trivial, da sowohl das sourceseitige als auch das drainseitige Ende des Kanals bei Draufsicht rechteckförmig verlaufen. Die Kanalweite wird aus der Formel für den Kanalwiderstand im linearen Bereich bestimmt (die Abmessungen sind Abb. 6.12 entnommen):
Die Weite des Einzeltransistors ist mit der Zellenzahl 
zu gewichten (
ist die metallurgische Kanallänge):
