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D I S S E R T A T I O N


Miniaturization Problems in CMOS Technology:
Investigation of Doping Profiles and Reliability



ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften

eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
von


Robert Wittmann


Spengergasse 6/15
A-1050 Wien, Österreich

Matr. Nr. 8525019
geboren am 11. Dezember 1966 in Wien


Wien, im Jänner 2007




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R. Wittmann: Miniaturization Problems in CMOS Technology: Investigation of Doping Profiles and Reliability