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D I S S E R T A T I O N

Advanced Process Modeling for VLSI Technology

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik

von

Helmut Puchner

Hagenmüllergasse 9-19
A-1030 Wien
Matr.-Nr. 8725057
geboren am 03. August 1968 in Steyr

Wien, im Juni 1996





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