Vorlesungs-Übung Fachvertiefung - Mikroelektronik-Bauelemente, Simulation
LVA-Nr. 360.223, 4.0 Std.
Diese Lehrveranstaltung ist im neuen Bachelor-Studienplan ein Wahlpflichtfach im 6. Semester. Eine Kopplung mit der Bachelor-Arbeit im Rahmen der Lehrveranstaltung 360.220 "Bachelorarbeit mit Seminar" ist möglich.
Die Studierenden vertiefen ihr in der VU Halbleiterphysik (362.069) erworbenes Wissen über die Funktionsweise von mikroelektronischen Bauelementen. Im theoretischen Teil werden die wichtigsten Eigenschaften von Halbleitern, die Grundlagen der numerischen Bauteilsimulation und die Funktionsprinzipien wichtiger Bauelemente zusammengefasst. Im Übungsteil kommt ein am Institut für Mikroelektronik entwickelter Bauelementsimulator zum Einsatz, welcher online über ein Java-Webinterface angesteuert werden kann. Dieser Simulator erlaubt es, allgemeine Bauelemente nach hinreichender Spezifikation der Geometrie und der Dotierstoffverteilung zu simulieren. Verteilte Größen wie zum Beispiel das Potential, die Ladungsträgerkonzentrationen und die Bandkanten können graphisch dargestellt werden. Durch Variation der Beschaltung, der Geometrie und des Dopings wird hiermit ein tiefes Verständnis der Funktionsweise mikroelektronischer Bauelemente erworben.
Weitere Informationen zum Kurs finden Sie in TUWEL sowie im TISS.