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D I S S E R T A T I O N


Feature Scale Modeling for Etching and Deposition Processes
in Semiconductor Manufacturing

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik

von

Wolfgang Pyka


Wiedner Hauptstraße 45/25
Wien IV

Matrikelnummer 8935157
geboren am 27. August 1970 in Innsbruck

Wien, im April 2000

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...ne{Two metal layer interconnect structure carrying \emph{I$\mu $E}.}\end{figure}




``Gnôthi seaton!''
``Was heißt denn das schon wieder?''
``Weiß ich nicht! Das ist Griechisch.''


``Die Trabantenstadt'', René Goscinny und Albert Uderzo


Why should you always signal, even if you don't see any car?
The car you don't see might hit you.


Driver's examination, Department of Motor Vehicles, California


Die Theorie bestimmt, was wir beobachten können.

Albert Einstein


``Welches ist denn die größte Lüge der Welt?'' fragte der Jüngling überrascht.
``Es ist diese: In einem bestimmten Moment unserer Existenz verlieren wir die Macht über unser Leben, und es wird dann vom Schicksal gelenkt. Das ist die größte Lüge der Welt!''


``Der Alchimist'', Paulo Coelho, 1988


Es mag vielmehr notwendig sein, unsere grandiosen Annahmen zurückzustecken und uns mit einer viel einfacheren Wirklichkeitsauffassung zu bescheiden, nämlich einer, die das Produkt zweier grundlegender Prinzipien ist: Zufall und Notwendigkeit.

``Wie wirklich ist die Wirklichkeit?'', Paul Watzlawick, 1978


Wo Thätigkeit thronet und Müssiggang weicht,
erhält seine Herrschaft das Laster nicht leicht.


``Die Zauberflöte'', Deutsche Oper in zwei Aufzügen von Wolfgang Amadeus Mozart,
Text von Emanuel Schikaneder, KV 620, 1791


Di rigori armato il seno
Contro amor mi ribellai;
Ma fui vinto in un balleno,
In mirar due vaghi rai.
Ahi! che resiste puoco
Cor di gelo a stral di fuoco!


Ma si caro è'l mio tormento.
Dolce è si la piaga mia.
Ch'il penare è'l mio contento,
E'l sanarmi è tirannia.
Ahi! che più giova e piace
Quanto amor è più vivace!



Leicht muß man sein, mit leichtem Herz und leichten Händen halten und nehmen, halten und lassen -- Die nicht so sind, die straft das Leben, und Gott erbarmt sich ihrer nicht.

``Der Rosenkavalier'', Komödie für Musik in drei Aufzügen von Hugo von Hoffmannsthal,
Musik Richard Strauss, Op. 59, 1911


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W. Pyka: Feature Scale Modeling for Etching and Deposition Processes in Semiconductor Manufacturing