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D I S S E R T A T I O N


Simulation der Ionenimplantation in kristalline Siliziumstrukturen

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik

von

Walter Bohmayr


Dr. Ferdinand Groß-Straße 6
A-4470 Enns
Matr.-Nr. 8825881
geboren am 15. Feber 1969 in Steyr

Wien, im September 1996





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Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996