D I S S E R T A T I O N

Rigorous Integration of Semiconductor
Process and Device Simulators

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
von


Thomas BINDER


Hütteldorferstraße 52/14
Wien XV

Matrikelnummer 8826314
geboren am 4. Jänner 1969 in Bad-Ischl

Wien, im November 2002


2003-03-27